人们最早采用探针技术与今天的工具是很不相同的，早期探针使用了由一个很短的线极尖而逐渐收敛的50-Ω微带线，通过探针基片上一个小孔而与被测器件的压点相接触。此时，其技术难度在于如何突破4GHz时实现可重复测量。虽然有可能通过校准过程来剔除一个接触线极尖相对较大的串联电感的影响，但当圆晶片的夹具被移动时，线极尖的辐射阻抗会有较大的变化。